دانلود مقاله بررسی خصوصیات مکانیکی پرده های نازک تورفتگی نانو، با در نظر گرفتن اثر ترکیبات ضخامت پوشش زیر لایه ای متفاوت
تعداد کلمات فایل انگلیسی:5140 کلمه 8صفحه pdf
تعداد صفحات فایل ترجمه :14 صفحه word فونت 14 B Lotus
بررسی خصوصیات مکانیکی پرده های نازک تورفتگی نانو، با در نظر گرفتن اثر ترکیبات ضخامت پوشش زیر لایه ای متفاوت
چکیده
در جهت بررسی بیشتر داده تورفتگی نانو سیستم های زیرلایه- پرده ما باید درباره خصوصیات مکانیکی نانومتری سیستم های زیر لایه- پرده یاد بگیریم، دو نوع پرده روی سیستم های زیر لایه ای با تنوع سیستماتیک ضخامت ها و ویژگی های زیر لایه ای تست می شود. دونوع پرده وجود دارد آلومینیوم و فلز کروم که روی زیر لایه های شیشه و سلیکون به ترتیب سفت می شود. علاوه براین آزمایشات با زمینه نانو XP II با درخواست کننده جابه جایی درباره دو زمانی که پرده ظاهری ضخیم شد انجام شدند. نتیجه داده ها در اصطلاحات محورهای جابه جایی- بار و تنوع نسبی زمانی که اثرات زیر لایه ها در نظر گرفته شدند تحلیل شدند. نتایج نشان داد که چگونه شدت مرکب و مدول ها برای آنچه در پرده و زیر لایه متفاوت است تفاوت دارند. مدول های شدت مرکب از طریق روش جوسلین و اولیور که با روش اولیور و فار مقایسه و یا به طور مستقیم اندازه گیری شده است بدست آورده می شود.
مدول های کششی و با شدت دوتا از مهم ترین پارامترهای صنعت است و بر تورفتگی های فنی برای اندازه گیری شدت یک طیف گسترده تکیه می کند. اخیرا، تورفتگی های فنی مشاهده- عمیق استفاده شدند تا خاصیت های مکانیکی که در حال مطالعه خصوصیات مکانیکی پرده نازک روی زیر لایه است را بررسی کنند (1-4). تورفتگی های فنی علاقه دارد تا از پرده های نازک نیمه رسانا وضعیت ذخیره مغناطیسی استفاده کند. مانند ضخامت پرده استفاده شده صنایع که ادامه دارد کاهش یابد، بنابراین این بیشتر و بیشتر مشکل می شود تا اطلاعات را از اینن تکنیک ها به دست بیاوریم. بخاطر محدودیت تجهیزات مانند انقلاب ماشین، نسبت یک به چند، اثر سراسری صفحه کوچک این بسیار مشکل است تا نتایج آزمایشی معنادار برای عمق تورفتگی کمتر از 10nm را به دست بیاوریم. در جهت به دست آوردن خصوصیات ذاتی پرده از تورفتگی بزرگ، نیاز است تا فهمیده شود چگونه خصوصیات مکانیکی اثر زیر لایه شدت و تغییر پرده را اندازه گیری می کند.
Investigation of the mechanical properties of thin films by
nanoindentation, considering the effects of thickness and
different coating-substrate combinations
Shaohua Chen*, Lei Liu, Tzuchiang Wang
Abstract
In order to further investigate nanoindentation data of film-substrate systems and to learn more about the mechanical properties of nanometer film-substrate systems, two kinds of films on different substrate systems have been tested with a systematic variation in film thickness and substrate characteristics. The two kinds of films are aluminum and tungsten, which have been sputtered on to glass and silicon substrates, respectively. Indentation experiments were performed with a Nano Indent XP II with indenter displacements typically about two times the nominal film thicknesses. The resulting data are analyzed in terms of load-displacement curves and various comparative parameters, such as hardness, Young’s modulus, unloading stiffness and elastic recovery. Hardness and Young’s modulus are investigated when the substrate effects are considered. The results show how the composite hardness and Young’s modulus are different for different substrates, different films and different film thicknesses. An assumption of constant Young’s modulus is used for the film-substrate system, in which the film and substrate have similar Young’s moduli. Composite hardness obtained by the Joslin and Oliver method is compared with the directly measured hardness obtained by the Oliver and Pharr method. © 2004 Elsevier B.V. All rights reserved.
Keywords: Nanoindentation; Mechanical property; Coating and substrate
کد:2-9415
رمز فایل :www.downloadmaghaleh.com
دانلود رایگان مقاله انگلیسی
دانلود مقاله بررسی خصوصیات مکانیکی پرده های نازک تورفتگی نانو
دانلود مقاله دات کام 
توضیحات محصول
دانلود مقاله بررسی خصوصیات مکانیکی پرده های نازک تورفتگی نانو، با در نظر گرفتن اثر ترکیبات ضخامت پوشش زیر لایه ای متفاوت
تعداد کلمات فایل انگلیسی:5140 کلمه 8صفحه pdf
تعداد صفحات فایل ترجمه :14 صفحه word فونت 14 B Lotus
بررسی خصوصیات مکانیکی پرده های نازک تورفتگی نانو، با در نظر گرفتن اثر ترکیبات ضخامت پوشش زیر لایه ای متفاوت
چکیده
در جهت بررسی بیشتر داده تورفتگی نانو سیستم های زیرلایه- پرده ما باید درباره خصوصیات مکانیکی نانومتری سیستم های زیر لایه- پرده یاد بگیریم، دو نوع پرده روی سیستم های زیر لایه ای با تنوع سیستماتیک ضخامت ها و ویژگی های زیر لایه ای تست می شود. دونوع پرده وجود دارد آلومینیوم و فلز کروم که روی زیر لایه های شیشه و سلیکون به ترتیب سفت می شود. علاوه براین آزمایشات با زمینه نانو XP II با درخواست کننده جابه جایی درباره دو زمانی که پرده ظاهری ضخیم شد انجام شدند. نتیجه داده ها در اصطلاحات محورهای جابه جایی- بار و تنوع نسبی زمانی که اثرات زیر لایه ها در نظر گرفته شدند تحلیل شدند. نتایج نشان داد که چگونه شدت مرکب و مدول ها برای آنچه در پرده و زیر لایه متفاوت است تفاوت دارند. مدول های شدت مرکب از طریق روش جوسلین و اولیور که با روش اولیور و فار مقایسه و یا به طور مستقیم اندازه گیری شده است بدست آورده می شود.
مدول های کششی و با شدت دوتا از مهم ترین پارامترهای صنعت است و بر تورفتگی های فنی برای اندازه گیری شدت یک طیف گسترده تکیه می کند. اخیرا، تورفتگی های فنی مشاهده- عمیق استفاده شدند تا خاصیت های مکانیکی که در حال مطالعه خصوصیات مکانیکی پرده نازک روی زیر لایه است را بررسی کنند (1-4). تورفتگی های فنی علاقه دارد تا از پرده های نازک نیمه رسانا وضعیت ذخیره مغناطیسی استفاده کند. مانند ضخامت پرده استفاده شده صنایع که ادامه دارد کاهش یابد، بنابراین این بیشتر و بیشتر مشکل می شود تا اطلاعات را از اینن تکنیک ها به دست بیاوریم. بخاطر محدودیت تجهیزات مانند انقلاب ماشین، نسبت یک به چند، اثر سراسری صفحه کوچک این بسیار مشکل است تا نتایج آزمایشی معنادار برای عمق تورفتگی کمتر از 10nm را به دست بیاوریم. در جهت به دست آوردن خصوصیات ذاتی پرده از تورفتگی بزرگ، نیاز است تا فهمیده شود چگونه خصوصیات مکانیکی اثر زیر لایه شدت و تغییر پرده را اندازه گیری می کند.
Investigation of the mechanical properties of thin films by
nanoindentation, considering the effects of thickness and
different coating-substrate combinations
Shaohua Chen*, Lei Liu, Tzuchiang Wang
Abstract
In order to further investigate nanoindentation data of film-substrate systems and to learn more about the mechanical properties of nanometer film-substrate systems, two kinds of films on different substrate systems have been tested with a systematic variation in film thickness and substrate characteristics. The two kinds of films are aluminum and tungsten, which have been sputtered on to glass and silicon substrates, respectively. Indentation experiments were performed with a Nano Indent XP II with indenter displacements typically about two times the nominal film thicknesses. The resulting data are analyzed in terms of load-displacement curves and various comparative parameters, such as hardness, Young’s modulus, unloading stiffness and elastic recovery. Hardness and Young’s modulus are investigated when the substrate effects are considered. The results show how the composite hardness and Young’s modulus are different for different substrates, different films and different film thicknesses. An assumption of constant Young’s modulus is used for the film-substrate system, in which the film and substrate have similar Young’s moduli. Composite hardness obtained by the Joslin and Oliver method is compared with the directly measured hardness obtained by the Oliver and Pharr method. © 2004 Elsevier B.V. All rights reserved.
Keywords: Nanoindentation; Mechanical property; Coating and substrate
کد:2-9415
رمز فایل :www.downloadmaghaleh.com
دانلود رایگان مقاله انگلیسی
دانلود مقاله بررسی خصوصیات مکانیکی پرده های نازک تورفتگی نانو