دانلود مقاله

توضیحات محصول

دانلود مقاله چالش تربیولوژیکی در MEMS و کاهش انها از طریق فاز بخار روغن

تعداد کلمات فایل انگلیسی:5422 کلمه 11 صفحه pdf

تعداد صفحات فایل ترجمه :8  صفحه word فونت 12 (Arial (Body CS

چالش تربیولوژیکی در MEMS و کاهش انها از طریق فاز بخار روغن

مایکل تی داگر  ازمایشگاه  ملی ساندیا صندوق پستی 5800 البو کرک NM871850889

چکیده

سیستم میکرو الکترو مکانیکی MEMS در تعدادی از برنامه های کاربردی مناسب به صورت تجاری موفق شد .با این حال موفقیت های تجاری  ممکن است منجر به طراحی ,شرایط کار و مواد در دستگاه ها که بسیار به اثرات تربیولوژیکی هستند.استفاده از سیستم MEMS در دفاع و امنیت ملی برنامه عا به صوزت معمول شامل محیط بیشتر چالشی با قابلیت مطمئن تر و پیچیده تر نسبت به برنامه های کاربردی تجاری میباشد.این امر به نوبه خود مراحل مناسبی برای چالش است که این سیستم را به دلیل اغاز به کار یعنی چسبندگی اصطکاک و سایش با مشکل مواجه می کند.چسیندگی در طول ساخت و بلافاصله پس از انتشار تا حد زیادی با استفاده از پوشش ابگریزی حل و فصل شده است اما این پوشش از نظر مکانیکی با دوام نسبت و سطح را در طول تخریب  عملیات گسترده را مهار نمیکند.چالش های تربولوژیکی در MEMS و روش های کاهش اثرات چسبندگی اصطکاک و کاهش مورد بحث واقع شده است.مفهوم جدید برای روانکاری MEMS سیلیکونی با استفاده از گونه های فاز گاز معرفی شده است.این روند روانکاری فازبخار در زندگی عامل قابل توجهی از دستگاه های که در تماس مکانیکی تکیه دارند را حاصل میشود.VPL رویکرد روانکاری موثری برای مواد دیگر نسبت به سیلیکون که روش  روانکاری سنتی در ان امکان پذیر نیست میباشد.وضعیت فعلی و چالش های باقی مانده برای بلوغ VPL برجسته شده اند.

کلید واژه ها:فرسودگی,روغن, MEMS  اصطکاک و بخار و الکل

مقدمه:

1-1برنامه های تجاری

تعدادی از MEMS برنامه های کاربردی تجاری موفق وجود دارد که شامل سر چاپگر جوهر افشان, مبدلهای فشار, میکرو دستکاه های صفحه نمایش اینه,شتاب سنج و ژیروسکوپ میشود.بزرگترین حجم نرم افزاری بدن و کسب شتاب سنج MEMS است.این دستگاه در کیسه هوا خودرو استفاده شده است و بیشتر از 10 سال در سیستم های استقرار وجود دارد.این دستگاه ها یک توده سنجش را به کار میگیرند که بر روی بستر با استفاده از یک فلز میکرو ساخته شده اویزان است.دیسک های الکترو استاتیک برای حفظ توده سنجش در موقعیت خنثی در پاسخ به شتاب خروجی استفاده میشود.ولتاژ مورد نیاز در دیسک برای حفظ موقعیت از جرم سنجش است مه به بزرگی شتاب در دستگاه در معرض مرتبط میباشد.در مقایسه با فن اوری های فعلی برای استفرار کیسه هوا شتاب سنج MEMS به مراتب ارزان تر از فن اوری های قبلی افزونگی دستگاه است و شامل توابع خود ازمون و مصرف کم است.نقش کلیدی در موفقیت این دستگاه این است که در حالت عادی عملیات ارتباط بین سطوح صورت نمی گیرد…..

Tribological Challenges in MEMS and Their Mitigation Via Vapor Phase Lubrication

Michael T. Dugger Sandia National Laboratories, PO Box 5800, Albuquerque, NM 87185-0889

ABSTRACT

MicroElectroMechanical Systems (MEMS) have become commercially successful in a number of niche applications. However, commercial success has only been possible where design, operating conditions, and materials result in devices that are not very sensitive to tribological effects. The use of MEMS in defense and national security applications will typically involve more challenging environments, with higher reliability and more complex functionality than required of commercial applications. This in turn will necessitate solutions to the challenges that have plagued MEMS since their inception – namely, adhesion, friction and wear. Adhesion during fabrication and immediately post-release has largely been resolved using hydrophobic coatings, but these coatings are not mechanically durable and do not inhibit surface degradation during extended operation.

Tribological challenges in MEMS and approaches to mitigate the effects of adhesion, friction and wear are discussed. A new concept for lubrication of silicon MEMS using gas phase species is introduced. This “vapor phase lubrication” process has resulted in remarkable operating life of devices that rely on mechanical contact. VPL is also an effective lubrication approach for materials other than silicon, where traditional lubrication approaches are not feasible. The current status and remaining challenges for maturation of VPL are highlighted.

Keywords: wear, lubrication, MEMS, friction, vapor, alcohol

کد:1-9684

دانلود رایگان مقاله انگلیسی

چالش تربیولوژیکی در MEMS و کاهش انها از طریق

نظری بدهید

چهار × یک =