دانلود مقاله روان کنندگی سیلیکون های پلی کریستالهای MEMSاز طریق یک پوشش نازک کاربید سیلیکون
تعداد کلمات فایل انگلیسی:3236 کلمه 8صفحه pdf
تعداد صفحات فایل ترجمه :13 صفحه word فونت 14 B Nazanin+ Regular
روان کنندگی سیلیکون های پلی کریستالهای MEMSاز طریق یک پوشش نازک کاربید سیلیکون
چکیده
ساختار تست چسبندگی پرتوdouble-clampedسطوح تماس سیلیکون های پلی کریستالی ریزساختار (پلی سیلیکون)، از طریق یک فیلم نازک فوق العاده سخت، مقاوم در برابر سایش و یک کاربید سیلیکون منسجم (SiC) اصلاح شده است. نیروهای چسبندگی در رابط های با Sicپوشش داده شده به عنوان تابعی از منطقه مشخص تماس بطور کمیتی تعیین شده است و با انهایی که در تماس با پلی سیلیکون های غیرپوششی هستند مقایسه شده است. بعلاوه مطالعات قابلیت اطمینان بودن تماسی، توسط دنبال کردن تغییراتی در خصوصیات فیزیکوشیمیایی سطوحی با کمتر از 100 بیلیون چرخه تماسی انجام گرفتند. نتایج، مزایای تریبولوژیکی پوشش Sicرا به عنوان یک روان کننده جامد در دستگاههای در معرض چرخه های تماسی را نشان دادند.
کلمات کلیدی:MEMS، ساختارهایی با نسبت جنبه یا ابعاد بالا، سیلیکون پلی کریستال، روان کننده جامد، Stictionیااصطکاک استاتیک، اصلاح سطح، مقاومت در برابر سایش
مقدمه
توسعه ی موفق سیستم های میکروالکترومکانیکی مبتنی بر سیلیکون (MEMS) مستلزم رویینگی و روغنکاری مناسب سطوح تماسی به منظور جلوگیری از چسبندگی بین سطحی غیر قابل برگشت (اصطکاک استاتیک) و سایش است (4-1). چسبندگی های ناخواسته معمولا به عنوان اصطکاک استاتیکشناخته می شوند، که بصورت یک مکانیسم شکست مشترک در سیستم های میکروالکترومکانیکی مبتنی بر سیلیکون و میکروالکترونیک های پیشرفته با ساختارهای با نسبت جنبه بالا باقی مانده است که این امر به دلیل عوامل مختلفی از جمله گرایش سیلیکون به شکل یک لایه هیدروفیل (آبدوست)، انرژی سطحی بالا اکسید ذاتی می باشد (2،5).
Lubrication of polycrystalline silicon MEMS via a thin silicon carbide coating
Ian Laboriante1, Anton Suwandi, Carlo Carraro, Roya Maboudian
abstract
The contacting surfaces of a microfabricated polycrystalline silicon (polysilicon) double-clamped beam adhesion test structure have been modified with a thin ultra-hard, wear-resistant, and conformal silicon carbide (SiC) film. Adhesion forces in SiC-coated interfaces as a function of apparent area of contact have been determined quantitatively and compared with those in uncoated polysilicon contacts. Furthermore, contact reliability studies have been carried out by following the changes in physicochemical properties of the surfaces after >100 billion contact cycles. The results highlight the tribological benefits of SiC coating as a solid lubricant in devices undergoing cyclic contacts
Keywords:
MEMS
High aspect ratio structures
Polycrystalline silicon
Silicon carbide
Solid lubrication
Stiction
Surface modification
Wear resistance
کد:2-9684
دانلود رایگان مقاله انگلیسی
دانلود مقاله دات کام 
توضیحات محصول
دانلود مقاله روان کنندگی سیلیکون های پلی کریستالهای MEMSاز طریق یک پوشش نازک کاربید سیلیکون
تعداد کلمات فایل انگلیسی:3236 کلمه 8صفحه pdf
تعداد صفحات فایل ترجمه :13 صفحه word فونت 14 B Nazanin+ Regular
روان کنندگی سیلیکون های پلی کریستالهای MEMSاز طریق یک پوشش نازک کاربید سیلیکون
چکیده
ساختار تست چسبندگی پرتوdouble-clampedسطوح تماس سیلیکون های پلی کریستالی ریزساختار (پلی سیلیکون)، از طریق یک فیلم نازک فوق العاده سخت، مقاوم در برابر سایش و یک کاربید سیلیکون منسجم (SiC) اصلاح شده است. نیروهای چسبندگی در رابط های با Sicپوشش داده شده به عنوان تابعی از منطقه مشخص تماس بطور کمیتی تعیین شده است و با انهایی که در تماس با پلی سیلیکون های غیرپوششی هستند مقایسه شده است. بعلاوه مطالعات قابلیت اطمینان بودن تماسی، توسط دنبال کردن تغییراتی در خصوصیات فیزیکوشیمیایی سطوحی با کمتر از 100 بیلیون چرخه تماسی انجام گرفتند. نتایج، مزایای تریبولوژیکی پوشش Sicرا به عنوان یک روان کننده جامد در دستگاههای در معرض چرخه های تماسی را نشان دادند.
کلمات کلیدی:MEMS، ساختارهایی با نسبت جنبه یا ابعاد بالا، سیلیکون پلی کریستال، روان کننده جامد، Stictionیااصطکاک استاتیک، اصلاح سطح، مقاومت در برابر سایش
مقدمه
توسعه ی موفق سیستم های میکروالکترومکانیکی مبتنی بر سیلیکون (MEMS) مستلزم رویینگی و روغنکاری مناسب سطوح تماسی به منظور جلوگیری از چسبندگی بین سطحی غیر قابل برگشت (اصطکاک استاتیک) و سایش است (4-1). چسبندگی های ناخواسته معمولا به عنوان اصطکاک استاتیکشناخته می شوند، که بصورت یک مکانیسم شکست مشترک در سیستم های میکروالکترومکانیکی مبتنی بر سیلیکون و میکروالکترونیک های پیشرفته با ساختارهای با نسبت جنبه بالا باقی مانده است که این امر به دلیل عوامل مختلفی از جمله گرایش سیلیکون به شکل یک لایه هیدروفیل (آبدوست)، انرژی سطحی بالا اکسید ذاتی می باشد (2،5).
Lubrication of polycrystalline silicon MEMS via a thin silicon carbide coating
Ian Laboriante1, Anton Suwandi, Carlo Carraro, Roya Maboudian
abstract
The contacting surfaces of a microfabricated polycrystalline silicon (polysilicon) double-clamped beam adhesion test structure have been modified with a thin ultra-hard, wear-resistant, and conformal silicon carbide (SiC) film. Adhesion forces in SiC-coated interfaces as a function of apparent area of contact have been determined quantitatively and compared with those in uncoated polysilicon contacts. Furthermore, contact reliability studies have been carried out by following the changes in physicochemical properties of the surfaces after >100 billion contact cycles. The results highlight the tribological benefits of SiC coating as a solid lubricant in devices undergoing cyclic contacts
Keywords:
MEMS
High aspect ratio structures
Polycrystalline silicon
Silicon carbide
Solid lubrication
Stiction
Surface modification
Wear resistance
کد:2-9684
دانلود رایگان مقاله انگلیسی